超纯水又称UP水，是指电阻率符合18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，基本没有什么杂质，也没有细菌等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是基本去除氧和氢以外原子的水。可以用于半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它技术的制备过程。

       这样的水是一般工艺很难符合的程度，理论上可以采用二类反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的再生不便，质量不好保障。
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