工艺流程：

       1、预处理----复床 ----混床---抛光树脂

       2、预处理----反渗透---混床---抛光树脂

       3、预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂

       传统超纯水制取设备工艺流程：原水-多介质过滤器-活性炭过滤器-一级除盐-混床-超纯水

       膜法超纯水制取设备工艺流程：原水-超滤-反渗透-EDI-超纯水

       在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体等杂质，可以保障反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。